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超聲振動磨削原理、優勢（shì）、分類和發展趨勢
超聲振動磨削的材料去除機製和表麵（miàn）形成機製
典型航空工（gōng）業難（nán）加工材料超聲（shēng）振動輔助加工現狀
超聲加（jiā）工降低切削力、改善粗糙度、降低（dī）刀具磨損
碳化矽晶圓功率密度高、耐（nài）壓高、導熱係數（shù）高，是功率半導體首選材料（liào），在新（xīn）能（néng）源領域應用越來越廣泛。碳化矽硬（yìng）度（dù）高，采用常規（guī）的晶圓劃片方案，切割速度慢，刀片消耗大。超聲振動輔助劃片，極大地提高了（le）生（shēng）產效率（lǜ）。
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