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超聲振動磨削原（yuán）理、優勢、分類和（hé）發展趨勢
超聲（shēng）振動磨削的材料去除機製和表麵形（xíng）成機（jī）製
碳化矽晶圓功率密度高、耐壓高、導熱係數高，是功率半導體首選材料，在新能源領域應用越（yuè）來越廣泛。碳化矽硬度高，采用常規的晶圓劃片方案，切割速度慢，刀片消耗大。超聲振動輔助（zhù）劃片，極大地提高了生產效率。
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