碳化矽（SiC）晶圓（yuán）超聲（shēng）劃片-深圳己（jǐ）道科技（jì）有限公司

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發布：2022-06-27

SiC超聲輔助切割技術

引文：DISCO Technical Review Mar. 2016

摘要：SiC是一種難加工的材料，有望成為功率器件的新材料，因其（qí）硬度而進（jìn）行常規刀片切割。建議使用超聲波切割和隱形切割加工SiC晶圓。在這篇綜述中，我們（men）介紹了這些劃片技術的每一個特點，以及比較（jiào）質量和生產率。